爱德万测试开发多视角扫描式电子显微镜

爱德万测公司表示正在开发一款多视角量测扫描式电子显微镜，该显微镜主要是针对3D IC晶圆量测领域而开发的。

针对3D IC晶圆量测需求，在电子束扫描技术（专利）基础上，开发多视角量测扫描式电子显微镜；该电子显微镜可在各种晶圆上量测接脚间距图样，支援材料除了矽晶圆之外，还包括AlTiC、石英、碳化矽晶圆等，可支援尺寸从150mm到300mm不等。

同时，多视角量测扫描式电子显微镜具有多重侦测器配置设定功能，可在1Xnm节点稳定进行精确性量测；专利侦测演算法可量测3D FinFET架构。